用于清潔氣體的微機電系統質(zhì)量流量傳感器和儀表 微機電系統質(zhì)量流量傳感器采用公司專(zhuān)有的微機電系統質(zhì)量流量傳感技術(shù)制造，具有大動(dòng)態(tài)范圍、高精度和長(cháng)壽命的特點(diǎn)。微機電系統傳感元件設計有壓力平衡器，允許在高工作壓力下應用。典型的應用包括: 1.醫療器械或設備，如呼吸機、麻醉設備、哮喘檢測器、自動(dòng)旋轉儀、內窺鏡、伽瑪刀、CPAP等等 2.過(guò)程控制和監控如焊接過(guò)程、氣體混合器、食品包裝機器人控制、堵塞感應風(fēng)扇監控等等 3.使用儀器，如氣相色譜光譜儀、氣體控制設備、空氣取樣器、泄漏檢測、氣體分析儀等 4.半導體設備例如管芯附著(zhù)、引線(xiàn)鍵合機、濕化學(xué)工作臺監控器 5.智能家居/暖通空調，提供對通風(fēng)櫥通風(fēng)的監控和效率反饋。 Siargo成立于2003年，是****的微機電系統質(zhì)量流量傳感產(chǎn)品供應商，我們正在將我們的技術(shù)擴展到微流體、壓力和氣體傳感產(chǎn)品和應用
