計量泵 計量閥 自旋查克系列 SAWATEC的自旋查克系列為所有襯底尺寸和襯底材料提供了合適的選擇。為了實(shí)現**的涂層，提供了各種尺寸、材料和設計的自旋鎖。視應用程式而定，可使用光學(xué)置中輔助裝置來(lái)應用一組或兩組自旋鎖。 為了防止基板背面受到污染，旋轉查克尺寸的*佳選擇以及特殊的查克設計至關(guān)重要。更換自旋鎖**簡(jiǎn)單，不需要工具。 為了使旋轉模塊正常運行并實(shí)現高一致性，只使用原SAWATEC旋轉chucks是很重要的。使用外部品牌自旋恰奇時(shí)，SAWATEC無(wú)法保證指定的技術(shù)規格和工藝**。 SAWATEC AG是一家**的瑞士高科技公司，成立于1996年。該公司由Sawatzki Engineering和Bruno Sawatzki兩家公 