流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮氣)
• 設定點(diǎn)的響應時(shí)間不超過(guò)1sec
• 控制精度可達實(shí)際流量的1*
• I/O(輸入&輸出)可選模擬和數字信號
• 可實(shí)現本地/遠程設置/顯示
