2020-08-30 23:41
美國Aalborg氣體質(zhì)量流量計
美國Aalborg Instruments Controls, Inc成立于1972年,是**上**的氣體質(zhì)量流量計/控制器的生產(chǎn)廠(chǎng)家,其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、材料科學(xué)、石油化工、醫藥、環(huán)保等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn):性?xún)r(jià)比高、響應速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護、備總量計數器
典型應用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設計特點(diǎn):
-剛性金屬結構
-流程范圍從0開(kāi)始到10sccm直到0到1000slpm
-*大壓力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦氣
-NIST系統標定可追蹤的證明
-可傾斜的LCD讀表
-0-5Vdc或4-20mA信號輸出
-電路保護
-可用作便攜式的設備
-0到100%比例顯示
-可配備流量計算機