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Arzuffi BDS-MF是一款等離子發(fā)生器，其正弦輸出電壓為40 kHz，*大功率輸出為5 kW或10 kW，專(zhuān)為PECVD等離子或等離子體激發(fā)而設計。
　　該發(fā)生器能夠提供高達10kW(5KW)至5000V的RMS輸出。輸出為兩個(gè)對稱(chēng)電*的平衡型。
　　典型的應用是大型工藝室的PECVD工藝。
　　一個(gè)特點(diǎn)是內部輸出的高壓變壓器，帶有兩個(gè)插座，以適應等離子體阻抗。
　　該發(fā)生器設計用于現有機器上的即插即用安裝。
　　ARZUFFI發(fā)電機 BDS-MF系列參數：

	BDS-MF5K	BDS-MF10K
輸出功率	負載為2000歐姆負載時(shí)為5 kWatt	負載為2000歐姆負載時(shí)為10 kWatt
供電電壓	3 X 400 VAC +/- 10*50/60 HZ，10A (L1，L2，L3，PE)	3 X 400 VAC +/- 10*50/60 HZ，18 A(L1，L2，L3，PE)
尺寸	抽屜19英寸機架，4UI高度(177毫米)540毫米深度	抽屜19英寸機架，4UI高度(177毫米)540毫米深度
重量	20KG鋁制容器	20KG鋁制容器
冷卻	空氣冷卻，**散熱器，該裝置可在高達40°C的環(huán)境溫度下工作	空氣冷卻，**散熱器，該裝置可在高達40°C的環(huán)境溫度下工作
輸出電壓	在2000歐姆負載時(shí)，tap2上的電壓高達5000V	在2000歐姆負載時(shí)，tap2上的電壓高達5000V
輸出電流	TAP1上*高3.5 A，TAP2上*高2.5A	TAP1上*高3.5 A，TAP2上*高2.5A
輸出連接器	2個(gè)Fischer 105連接器上的平衡輸出，用于RG214 / U同軸電纜	2個(gè)Fischer 105連接器上的平衡輸出，用于RG214 / U同軸電纜
等離子點(diǎn)火電壓	大于5500 VRMS	大于5500 VRMS
電弧識別電路	過(guò)流一次回路，反應時(shí)間1微秒	過(guò)流一次回路，反應時(shí)間1微秒
接口	DB25連接器，模擬10V信號，24V數字 引腳排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 發(fā)生器(可選)	DB25連接器，模擬10V信號，24V數字 引腳排列，兼容ADVANCED ENERGY PEII© RS232或PROFIBUS 發(fā)生器(可選)
前面板	LCD顯示2×40個(gè)字符	LCD顯示2×40個(gè)字符
測量電路	RMS電壓，RMS電流，負載上提供的有功功率	RMS電壓，RMS電流，負載上提供的有功功率
調節電路	動(dòng)力	動(dòng)力
高壓輸出變壓器	兩個(gè)Tap1輸出插座，用于1000歐姆負載，Tap2用于2000歐姆負載	兩個(gè)Tap1輸出插座，用于1000歐姆負載，Tap2用于2000歐姆負載
合規	EC可根據要求提供符合性聲明	EC可根據要求提供符合性聲明